기술자료/납품사례

글로벌 반도체 산업은 AI, 5G, 자율주행 등 첨단 기술의 확장과 함께 빠른 성장과 지속가능한 운영이라는 이중 과제에 직면해 있습니다. 고성능 칩에 대한 수요가 폭증하면서 IC 설계, 웨이퍼 제조, 테스트, 패키징 등 핵심 공정의 중요성이 더욱 커졌습니다. 특히 웨이퍼 제조 공정에서는 클린룸, HVAC 시스템, 질소 발생, 공기 및 냉각 관리 등 정밀한 환경 제어가 필수적이며, 이는 곧 반도체 수율과 직접적으로 연관됩니다.

이러한 상황에서, 정밀 모니터링과 효율적인 관리 시스템을 통해 생산 효율성을 높이고 에너지 소비를 줄이는 것이 업계의 핵심 과제로 부상하고 있습니다.

3가지 목표

1. 생산 효율성 향상

실시간 환경 데이터 기반의 정밀 제어로 불량 감소 및 생산성 극대화

2. 에너지 비용 절감

불필요한 에너지 소모 최소화, HVAC 및 설비 운영 최적화

3. 탄소 배출 절감

친환경적 공정 운영으로 ESG 경영 실현

웨이퍼 제조

웨이퍼 제조는 웨이퍼 가공, 세정, 배선 등 고정밀·고청정 환경이 요구되는 다단계 공정입니다. 이 과정에서 해당 센서들은 실시간 모니터링과 제어에 결정적인 역할을 합니다.

1. 클린룸 모니터링

- 온습도 관리

THS30X 시리즈 온습도계는 높은 정확도와 다양한 설치 옵션을 제공하여, 최적의 클린룸 환경을 유지할 수 있도록 지원합니다.

- 차압 제어

PMD330 차압계는 압저항 센서를 적용, 압력 포트 간 공기 흐름이 없도록 설계되어 오염물질이 핵심 공정 구역으로 유입되는 것을 효과적으로 차단합니다.

- 저유속 기류 감지

FTS34 유속계는 0.2 m/s의 초저속 기류까지 감지할 수 있어, 안정적인 층류를 유지하고 미세 입자 오염을 방지합니다.

2. 냉각 및 HVAC 시스템 에너지 최적화

웨이퍼 제조 장비는 막대한 열을 발생 시키기 때문에, 일정한 온도를 유지하려면 효율적인 냉각 시스템이 필수입니다.

eyc-tech의 FTC05 열선식 유량 스위치와 THS307 온습도계는 냉각수 순환 효율을 실시간으로 모니터링하고, HVAC 냉방 출력을 정밀하게 제어하여 불필요한 에너지 낭비를 방지합니다.

또한, DPM04 지시계를 연동하면 순간 유량과 누적 유량 데이터를 실시간으로 확인할 수 있어, 제조 현장의 공조 및 냉각 시스템을 최적화하고 전체 에너지 소비를 효과적으로 줄일 수 있습니다.

3. 웨이퍼 산화 및 코팅

웨이퍼 세정 후에는 미세 입자나 불순물로 인한 재오염을 방지하기 위해 다양한 코팅 공정이 진행됩니다.

대표적인 코팅 방식으로는 CVD(화학 기상 증착)와 PVD(물리적 기상 증착)가 있으며, 이 과정에서는 주로 글러브박스 시스템이 활용됩니다.

글러브박스 시스템은

- 진공 챔버

- 공기 정화 장치

- 수분 및 산소 농도 제어 장치

- 실시간 모니터링 디스플레이

등으로 구성되어, 초정밀 환경을 유지합니다.

정밀한 반도체 공정에서는 글러브박스 내부의 수분과 산소 농도를 극한으로 낮게 유지하는 것이 핵심 기술 요건입니다.

일반적으로 1PPM, 3PPM, 5PPM 이하의 초저농도 기준이 요구되며, 이는 제품 수율과 직결되는 중요한 요소입니다.

THS88MAX 산업용 노점계는

글러브박스 내부의 수분 농도를 실시간으로 정밀하게 모니터링할 수 있어

초건조·무산소 환경을 완벽하게 유지할 수 있도록 도와줍니다.

0~1000PPM의 넓은 측정 범위와 맞춤 설정 기능으로

고품질, 안정적인 반도체 공정 환경을 보장합니다.

웨이퍼 보관 및 포장

1. 질소 발생기

반도체 제조 공정에서 질소(N₂)와 같은 불활성 가스는 코팅, 패키징 등 다양한 단계에서 금속 산화를 방지하는 핵심 역할을 합니다.

FTM06D 유량계

질소 공급의 실시간 유량을 정확하게 모니터링해 안정적인 공기 공급을 보장합니다.

P064 차압계

파이프라인 압력을 상시 감시하여 생산 중단 없이 원활한 공정 운영을 지원합니다.

THS88MAX 산업용 노점계

실시간 측정 디스플레이로 질소의 건조 상태를 손쉽게 확인, 수분 오염 리스크를 원천 차단합니다.

2. 화학물질 및 배기 공정 모니터링

반도체 웨이퍼 제조 과정에서는 에천트, 포토레지스트 등 고순도 화학약품이 다양하게 사용됩니다.

이때 발생하는 배기 공정의 유해 가스와 휘발성 유기화합물(VOCs)은 반드시 철저하게 관리되어야 하며,

환경 규제에 맞는 안전한 처리가 필수입니다.

FTM94/95 산업용 유량계는

극한의 온도와 압력, 먼지 등 까다로운 환경에서도 탁월한 정확도와 내구성을 자랑합니다.

VOCs 등 유해 배기 가스의 실시간 모니터링, 및 배기 처리 시스템의 효율적 운영과, 환경 문제를 한 번에 해결해 드립니다.

EYC 제품은 반도체 공정에서 사용되기에 충분한 스펙을 가지고 있습니다.

다만 핵심 공정에 필요없는 고성능 기능을 포함하지 않아 가격적으로 메리트가 있는 선택입니다.

딱 필요한 만큼만 투자하여, 반도체 수율 상승, 산업안전, ESG, 인력 절감 등 많은 혜택을 누릴 수 있습니다